Погребняк, А.Д.; Соболь, О.В.; Береснев, В.М.; Турбин, П.В.; Толмачева, Г.Н.; Махмудов, Н.А.; Шипиленко, А.П.; Каверин, М.В.; Пшик, А.В.; Фурсова, Е.В.
(Физическая инженерия поверхности, 2009)
Впервые с помощью вакуумно-дугового осаждения в ВЧ разряде были получены сверхтвердые наноструктурные покрытия с Н (твердостью) ≥ 55,3 ГПа. Проведен анализ влияния высокотемпературного отжига в вакууме 1180 °С и воздушной ...